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1999
Journal Article
Titel
Per Mausklick zum Sensor
Abstract
Neue CAE-Werkzeuge unterstützen den Top-Down Entwurf für Mikrosysteme. Am Beispiel von kapazitiven Drucksensoren wird der Designflow für ein Drucksensorsystem erläutert, der durch das Tool MEM-CPS ermöglicht wird. Das Layout des gewünschten Sensors wird für einen CMOS-kompatiblen Prozeß in Oberflächenmikromechanik generiert. Gleichzeitig wird ein Modell zur elektrischen Simulation der generierten mikroelektromechanischen Strukturen bereitgestellt. Dieser Ansatz spart Entwicklungszeit und -kosten in erheblichem Maß.