Fraunhofer-Gesellschaft

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Partikelmessungen in Gasen

 
: Dorner, J.; Müller, B.

Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart:
Meßtechnisches Praktikum im Reinraum 1991 : 09.-10. Oktober 1991, Stuttgart-Vaihingen
Stuttgart, 1991
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (Workshop) <1991, Stuttgart>
Meßtechnisches Praktikum <1991, Stuttgart>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IPA ()
Fertigung; Halbleiter; high-pressure reducer; Hochdruckdiffusor; Kontamination; particle measurement; Particle sampling devices; Partikelmessung; Partikelmeßtechnik; Partikelzähler; Probenahme; Qualifying of Gases; Reinstgas; semiconductor; semiconductor manufacturing; Teilchen

Abstract
Vorliegender Artikel befaßt sich mit den generellen Partikelmeßmethoden für Reinstgase, wie der Streulichtmethode, Kondensationskernzählung und Auszählungmethode. Es wird auf Methoden der Probenahme bei Druckgasen eingegangen. Verschiedene Anwendungen der Partikelmessung in Gasen, wie die Qualifizierung von Gasen, Qualifizierung von Komponenten und Systemen werden an konkreten Beispielen erläutert. Abgerundet wird der Artikel durch Hinweise auf die Messung in Korrosion und toxischen Gasen sowie Tabellen zu einigen derzeit auf dem Markt befindlichen Partikelzählgeräten.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-28025.html