Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Partikelmessung in Reinstmedien

Particle Measurement in Clean Media
 
: Ernst, C.

Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart:
Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '97 : IPA-Workshop, 27. und 28. Oktober 1997, Stuttgart
Stuttgart, 1997
S.1-58
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (Workshop) <1997, Stuttgart>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IPA ()
Kalibrieren; Latexpartikel; Optische Meßtechnik; particle measurement; Partikelmessung; Partikelzähler; Probenahme; Rasterelektronenmikroskopie; Reinstgas; Reinstmedien; Streulicht; Teilchen; Zählwirkungsgrad

Abstract
Zur Partikelmessung in Reinstmedien werden optische Partikelzähler eingesetzt. Die Präzision der Messung ist abhängig von der Probenahmetechnik und der Kalibrierung. Die verfügbaren optischen Partikelzähler unterscheiden sich in ihren technischen Merkmalen Anwendungsmöglichkeiten und Probenahmetechniken.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-28018.html