Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Partikelmessung in Luft und Abnahmemessungen von Reinräumen

 
: Grimme, R.; Kahlden, T. von

Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart:
Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '93
Stuttgart, 1993
S.1-24
Fertigungstechnik im Reinraum - Meßtechnisches Praktikum <1993, Stuttgart>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IPA ()
Airborne Particle; Messen; Partikelmessung; Reinraum; standartization; Teilchen; VDI Richtlinie

Abstract
Cleanromms are used in a wide range of applications. Areas of cleanrooms are from LF-boxes up to a few thousands of qm. All the cleanrooms have to be certified after construction and during their operation. In this paper the certification procedure like VDI-2083-part 3 is discussed.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-28015.html