Fraunhofer-Gesellschaft

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Partikelmessung in Druckgasen (Versuch 6)

Particle mesasurement in pressurized gases
 
: Matuscheck, P.; Werner, D.

Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart:
Fertigen unter reinen Bedingungen. Meßtechnisches Praktikum 1999 : 5. und 6. Mai 1999, Stuttgart
Stuttgart, 1999
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (Workshop) <1999, Stuttgart>
Meßtechnisches Praktikum <1999, Stuttgart>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IPA ()
Druckgas; Kontaminationskontrolle; Kontaminationsüberwachung; Messen; Partikelkontrolle; Partikelzähler; Reinheitszustand; Reinstgas; Streulicht; Teilchen

Abstract
Zur Ermittlung der Partikelverunreinigung von Druckgasen mit einem optischen Partikelzähler gibt es zwei grundlegende Alternativen: 1. Die Inline-Vermessung des Druckgases mit einem Hochdruck-Partikelzähler. 2. Der Einsatz selbstansaugender Partikelzähler in Kombination mit einer Vorrichtung zur Entspannung des Druckgases. Üblicherweise werden selbstansaugende, d.h. ohne Vordruck arbeitende optische Partikelzähler zur Messung der Partikelkonzentration in Gasen eingesetzt. Das Druckgas muß dazu vor der Meßzelle durch ein geeignetes Probenahmesystem, z.B. einen Diffusor, ein Ventil oder ein Druckausgleichsgefäß entspannt werden. Der Versuch demonstriert die Meß- und Probenahmetechnik zur Partikelmessung für reine Druckgase unter Verwendung eines Druckausgleichsgefässes. Funktionsweise und Durchführung werden erläutert.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-28011.html