Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Partikelmessung auf Oberflächen

 
: Klumpp, B.

Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart:
Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '93
Stuttgart, 1993
S.1-14
Fertigungstechnik im Reinraum - Meßtechnisches Praktikum <1993, Stuttgart>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IPA ()
Oberfläche; particle measurement; Partikelmeßtechnik; Teilchen

Abstract
Übersichtsvortrag über die Beurteilung von Partikelmerkmalen sowie die verschiedenen Möglichkeiten der Detektion auf Oberflächen. Behandelt werden licht- und elektro-optische direkte Verfahren sowie indirekte Verfahren zur Probennahme.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-28008.html