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1988
Journal Article
Titel
Partikelfrei handeln - Handhabungssysteme in reinen Räumen
Abstract
Die Fertigung in Reinräumen umfaßt heute neben der Halbleiterfertigung auch mehr und mehr Teilbereiche der Leiterplatten-Fertigung und Geräte-Montage. Dementsprechend gilt es, Anforderungen und Planungskriterien sorgfältig abzuwägen. Welche Rolle die Handhabungs-Technik dabei spielt und wie eine konkrete Lösung für Naßprozesse in der Halbleiterfertigung aussehen kann, zeigt der folgende Beitrag.