Fraunhofer-Gesellschaft

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Partikelausbreitung im Nachlauf von Kontaminationsquellen. Praktische Konsequenzen für die Gestaltung von Bauteilen

 
: Degenhart, E.; Schließer, J.

Reinraumtechnik 7 (1993), Nr.2, S.30-35
ISSN: 0931-9190
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IPA ()
Bauteil; Fertigung; Halbleiter; Konstruktion; Kontamination; Kontaminationsquelle; Partikelausbreitung; Partikelkontamination; Teilchen

Abstract
Für die Partikelkontamination in der Halbleiterfertigung sind in hohem Maße die Partikelemittenden wie beispielsweise Bewegungselemente und Versorgungssysteme verantwortlich. Aus Messungen im Nachlauf von einfachen Profilkörpern und Untersuchungen zur Partikelausbreitung lassen sich nicht nur allgemeine Erkenntnisse gewinnen, sondern auch praktische Konsequenzen für die Gestaltung von Bauteilen und Baugruppen ableiten.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-28001.html