Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

3D structures using gray tone lithography

 
: Reimer, K.; Wagner, B.; Kalus, M.; Frey, M.; Buchmann, L.

Behringer, U. ; VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-:
Mask technology for integrated circuits and micro-components. Lectures held at the GMM-conference
Berlin: VDE-Verlag, 1997 (GMM-Fachbericht 21)
ISBN: 3-8007-2310-7
S.169
VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik (Fachtagung) <1997, München>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ISIT ()
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-2782.html