Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Optische Rauheitsmessung

 
: Slavik, J.; Höfler, H.

F und M. Feinwerktechnik und Meßtechnik 96 (1988), Nr.6, S.258-262 : Abb.,Tab.,Lit.
ISSN: 0340-1952
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IPM ()
Autofokus-Verfahren; Heterodyn-Verfahren; Interferometrie; Phasenstift-Verfahren; Profilometer; Rauheitsmessung; Streulichtverfahren; Weißlicht-Speckle-Verfahren

Abstract
Der steigende Bedarf der Oberflächenmeßtechnik an Verfahren mit der Möglichkeit schneller Meßwerterfassung (100 %-Prüfung), flächenhafter Prüfung (evtl. mit Defekterkennung) und leichter Automatisierbarkeit einerseits, spezielle Meßprobleme an extrem glatten sowie weichen Oberflächen andererseits beschleunigen die Entwicklung industriell einsetzbarer optischer Rauheitsmeßverfahren innerhalb der letzten Jahre. Im folgenden werden einige kommerzielle Geräte anhand der ihnen zugrunde liegenden Prinzipien dargestellt. (IPM)

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-27594.html