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Optimierung von Silicium-Material und dessen Charakterisierung mittels hochauflösender Analytik und elektrischer Meßtechnik
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1996
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Titel
Optimierung von Silicium-Material und dessen Charakterisierung mittels hochauflösender Analytik und elektrischer Meßtechnik
Author(s)
Zielonka, G.
Keller, U.
Hauptwerk
Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen, Bereich Bauelementetechnologie. Leistungen und Ergebnisse. Jahresbericht 1995
Language
German
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IIS-B