Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Optical DUV-lithography for high microstructures

 
: Heuberger, A.; Löchel, B.

HARMST '95. High Aspect Ratio Microstructure Technology. Book of Abstracts
1995
High Aspect Ratio Microstructure Technology <1995, Karlsruhe>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ISIT ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-27318.html