Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

One-level gray-tone lithography for micro optical components

 

AMA Fachverband für Sensorik e.V., Wunstorf:
OPTO '96. 2. Kongress Optische Sensorik, Meßtechnik, Elektronik. Kongreßband
Wunstorf: ACS Organisations GmbH, 1996
Kongreß mit Fachausstellung für Optische Sensorik, Meßtechnik, Elektronik <2, 1996, Leipzig>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ISIT ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-27231.html