Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

One-level gray-tone lithography - mask data preparation and pattern transfer

 
: Reimer, K.; Quenzer, H.J.; Demmeler, R.; Wagner, B.

Parriaux, O.M. ; Centre National de la Recherche Scientifique -CNRS-, Paris:
Micro-optical technologies for measurement, sensors and microsystems
Bellingham, Wash.: SPIE, 1996 (Europto series)
ISBN: 0-8194-2169-3
S.71-79
International Symposium on Laser, Optics and Vision for Productivity in Manufacturing <1, 1996, Besancon>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ISIT ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-27230.html