Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

One-level gray-tone design. Mask data preparation and pattern transfer

 
: Reimer, K.; Henke, W.; Hofmann, U.; Merz, P.; Wagner, B.

Optics and optoelectronics. Theory, devices, and applications. Vol.2
New Delhi, London: Narosa Publishing House, 1998
S.1298
Englisch
Aufsatz in Buch
Fraunhofer ISIT ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-27229.html