Fraunhofer-Gesellschaft

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Nutzeroberfläche für die FEM-Analyse von mikromechanischen Systemen am Beispiel mikromechanischer Spiegel

 
: Kunze, D.; Erlebach, A.; Gehner, A.; Kück, H.

CAD-FEM GmbH, Grafing:
14. CAD-FEM Users' Meeting 1996
Grafing b. München, 1996
S.II-9, 1-11
CAD-FEM Users' Meeting <14, 1996, Bad Aibling>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IMS, Außenstelle Dresden ( IPMS) ()
Benutzeroberfläche; FEM; Kopplung; Mikrosystem; Systemparameter

Abstract
Zur rechnergestützten Optimierung mikroelektromechanischer Spiegelanordnungen (DMD) ist die FEM-Analyse hervorragend geeignet. Der FEM-Spezialist übernimmt zunächst Modellbildung, Netzgeneration, Analyse-Optimierung/-Automatisierung (Methodik) und Modellverifikation. Der mit der Produktentwicklung beauftragte Ingenieur wird durch eine Nutzeroberfläche befähigt, die FEM-Analyse selbständig zur Vervollkommnung der Technologie und zur Optimierung des Designs im Hinblick auf das Erreichen einsatzbestimmter Zielparameter zu nutzen. Die Nutzeroberfläche ermöglicht Eingriffe in Struktur, Materialparameter und Lastvorgaben und bereitet die Ergebnisse grafisch auf. Die numerischen Resultate für DMDs unterschiedlicher Gestalt werden mit Messungen verglichen und diskutiert.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-26747.html