Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Novel approach to simulation of the silylation bake in the DESIRE process

 
: Weiß, M.; Goethals, M.

:

Microelectronic engineering (1996), Nr.30, S.313-316
ISSN: 0167-9317
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer ISIT ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-26559.html