Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Novel approach to defect etching in thin film SOI. Part 1

 
: Gassel, H.; Peter-Weidemann, J.; Vogt, H.

Electrochemical Society -ECS-:
Electrochemical Society Meeting '92. Extended Abstracts
Pennington/N.J., 1992 (Electrochemical Society - Extended Abstracts 1/92)
ISBN: 1-56677-031-9
S.296-297
Electrochemical Society (Meeting) <181, 1992, St. Louis/Mo.>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IMS ()
defect etching; Ionenimplantation; silicon-on-insulator; SIMOX; SOI

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-26557.html