Fraunhofer-Gesellschaft

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Ein neues System für eine schnelle, maskenlose optische Mikrolithografie

 

Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme -IMS-, Dresden; Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme -IMS-, Duisburg:
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme. Tätigkeitsbericht 1994
Duisburg: IMS, 1995
ISSN: 0932-5824
S.108-112
Deutsch
Aufsatz in Buch
Fraunhofer IMS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-25984.html