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1994
Journal Article
Titel
Neue Materialien mit unglaublicher Härte - Beschichten mit Diamant und kubischem Bornitrid
Abstract
Diamant und kubisches Bornitrid können heute mit en Verfahren der aktivierten chemischen beziehungsweise der physikalischen Gasphasenabscheidung hergestellt werden. Diese Beschichtungsverfahren, die ursprünglich in der Mikroelektronik entwickelt wurden, erlauben die direkte Abscheidung polykristalliner Schichten auf verschiedenen Unterlagen. Dadurch werden diese superharten Materialien, die wegen ihrer Kombination aus einer Reihe extremer Eigenschaften von großem technologischen Interesse sind, für eine Vielzahl von Anwendungen in den Bereichen Mechanik, Elektronik und Optik verfügbar. Im Vordergrund stehen dabei die Erhöhung der Leistungsfähigkeit und Zuverlässigkeit von Werkzeugen und Bauteilen sowie die Entwicklung neuer Produkte, um so den steigenden Anforderungen an technische Bauteile und ysteme zu begegnen.
Language
German
Tags
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cubic boron nitride
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cutting tool
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Diamantelektronik
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Diamantschicht
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diamond electronic
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diamond film
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heteroepitaxial growth
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Heteroepitaxie
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insulation film
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Isolationsschicht
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optische Schutzschicht
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protective optical coating
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Schichten aus kubischem Bornitrid
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Schneidewerkzeug
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thermal conductivity
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Verschleißschutz
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Wärmeleitung
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wear resistant coating