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1981
Journal Article
Titel
Nd-YAG laser annealing of arsenic-implanted silicon - Relaxation of metastable concentration by means of CO2-laser irradiation.
Alternative
Nd-YAG Laserausheilung von Arsen implantiertem Silizium - Relaxation der metastabilen Konzentration mit Hilfe von CO2- Laserbestrahlung