Fraunhofer-Gesellschaft

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Monolithisches Magnetfeldsensorsystem mit Spinning Current Hallsensor

 
: Gottfried-Gottfried, R.; Budde, W.; Hörning, T.

Sessler, G. ; Informationstechnische Gesellschaft -ITG-:
Sensoren, Technologie und Anwendung 1994. Vorträge der ITG-Fachtagung
Berlin: VDE-Verlag, 1994 (ITG-Fachbericht 126)
ISBN: 3-8007-1988-6
S.447-450
Fachtagung Sensoren, Technologie und Anwendung <7, 1994, Bad Nauheim>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IMS, Außenstelle Dresden ( IPMS) ()
CMOS-Technik; Halbleiterschaltung; Hall-Generator; integrierte Halbleiterschaltung; Magnetometer; Mikrosystemtechnik

Abstract
Im Falle des vorliegenden Magnetfeldsensorsystems wurde die monolithisch integrierte Signalverarbeitung nicht nur für übliche Zwecke wie Signalverstärkung und -filterung benutzt, sondern auch zur Realisierung einer neuen Betriebsart, des Spinning-Current-Prinzips, eingesetzt. Dazu wurden Hallsensor, Umschaltmatrizen, Verstärker, Integrator und Ansteuerlogik mit einer Standard CMOS-Technologie auf einem Chip gefertigt. Damit konnte das Offsetverhalten des Hallsensors verbessert werden. Die Realisierung dieser Zusatzfunktion wäre mit externen Bauelementen nur mit erheblichem Aufwand (Verdrahtung, Bauelemente) möglich gewesen. Es wird deutlich, daß Vorteile der monolithischen Integration von Sensor und Signalverarbeitung in bezug auf die Systemperformance vorhanden sind.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-25011.html