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Ein monolithisch integriertes CMOS-Drucksensorsystem mit Temperaturkompensation und On-Chip gespeicherten Kalibrationsdaten

 

Sessler, G. ; Informationstechnische Gesellschaft -ITG-:
Sensoren, Technologie und Anwendung 1994. Vorträge der ITG-Fachtagung
Berlin: VDE-Verlag, 1994 (ITG-Fachbericht 126)
ISBN: 3-8007-1988-6
S.223-228 : Lit.
Fachtagung Sensoren, Technologie und Anwendung <7, 1994, Bad Nauheim>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IMS ()
Druckmessung; Drucksensor; magnetoresistance; Meßauswertung; microelectronics; microsystem; Mikroelektronik; Mikrosystemtechnik; piezo-resistor; piezoresistiver Aufnehmer; pressure sensor; Temperaturabhängigkeit; temperature compensation; temperature measurement; temperature range; Temperaturkompensation

Abstract
Es wird ein monolithisch integriertes CMOS-Drucksensorsystem vorgestellt. Die mit dem piezoresistiven Sensor integrierten Schaltungen ermöglichen neben der lastfreien Auslese der Brücke die Kalibration und Temperaturkompensation des Sensors ohne externe Bauelemente. Die Kalibrationsinformationen sind digital auf dem Chip gespeichert.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-25001.html