Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Monitoring of SiC deposition in an industrial CVI/CVD reactor by in-situ FTIR spectroscopy

 
: Mosebach, H.; Hopfe, V.; Erhard, M.; Meyer, M.

Journal de physique. 4, Colloque (1995), Supplement II, S.97-104
ISSN: 1155-4339
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IWS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-24958.html