Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Modeling of electronic stopping and damage accumulation during arsenic implantation in silicon

 
: Simionescu, A.; Herzog, S.; Hobler, G.; Schork, R.; Lorenz, J.; Tian, C.; Stingeder, G.

:

Nuclear instruments and methods in physics research, Section A. Accelerators, spectrometers, detectors and associated equipment 96 (1995), S.483ff
ISSN: 0167-5087
ISSN: 0168-9002
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IIS B ( IISB) ()