Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Minireticle für die Elektronenstrahllithographie

 

Verein Deutscher Ingenieure e.V. -VDI-, Düsseldorf:
Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnik-Bauteile '95. Tagungsband
Düsseldorf: VDI-Verlag, 1995
ISBN: 3-18-091243-X
S.97-112
Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnik-Bauteile <1995, München>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ISIT ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-24258.html