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Title
Mikroventil
Date Issued
1991
Author(s)
Csepregi, L.
Kuehl, K.
Seidel, H.
Patent No
1986-3621331
Abstract
Die Erfindung bezieht sich auf ein Mikroventil (1) mit einer auf elektrostatische Kraefte ansprechenden Verschlussmembran (7), die mit Federelementen (8) mit dem Strukturrand eines Siliziumsubstrates (2) verbunden und aus diesem mittels Aetzen hergestellt ist, sowie mit einer durch die Verschlussmembran zu verschliessenden und freizugebenden Ventiloeffnung (20), in deren Bereich eine Gegenelektrode (15) zu der Verschlussmembran angeordnet ist. Zur Erleichterung der Herstellung und der Schalteigenschaften des Mikroventils wird gemaess der Erfindung vorgeschlagen, dass sich die Gegenelektrode (15) auf der Oberflaeche eines weiteren Substrates, vorzugsweise Glassubstrates (14) befindet, in dem auch die Ventiloeffnung (20) vorgesehen ist. Das weitere Substrat (14) ist durch eine Distanzschicht (11) in Abstand von der verschlossenen Membran (7) gehalten. Das weitere Substrat (14) und die Siliziumstruktur (2, 11) werden bevorzugt durch anodisches Bonden miteinander verbunden.
Language
de
Patenprio
DE 1986-3621331 A: 19860626