Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Mikrosystemtechnik - eine Zukunftstechnologie für die Gegenwart

 
: Warnecke, H.-J.

Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der Angewandten Forschung e.V. -FhG-, München:
Mikrosystemtechnik. Fortschritt, Potentiale, Einsatzfelder
München, 1995 (Fraunhofer-Edition)
Deutsch
Aufsatz in Buch
Fraunhofer IPA ()
Aktuator; Mikrosystem; Mikrosystemtechnik; Technologie

Abstract
Die Mikrosystemtechnik ist dabei, viele Bereiche der Industrie auf ähnliche Weise zu revolutionieren wie schon seit einiger Zeit die Mikroelektronik. Die in den Mikrosystemen integrierten mechanischen Aktuatoren, Sensoren und elektronischen Komponenten erledigen heute, wofür vor einigen Jahren noch eine ganze Reihe von umständlichen Apparaten und Verfahren eingesetzt werden mußten.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-24168.html