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Mikrostrukturierung/Mikromechanik für die Sensorik
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1988
Book Article
Titel
Mikrostrukturierung/Mikromechanik für die Sensorik
Author(s)
Benecke, W.
Heuberger, A.
Hauptwerk
Technologietrends in der Sensorik. Untersuchung im Auftrag des Bundesministeriums für Forschung und Technologie
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT