Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Mikrostrukturierung/Mikromechanik für die Sensorik

 
: Benecke, W.; Heuberger, A.

Gretscher, I. ; VDI/VDE Technologiezentrum Informationstechnik:
Technologietrends in der Sensorik. Untersuchung im Auftrag des Bundesministeriums für Forschung und Technologie
Berlin, 1988
S.109-166
Deutsch
Aufsatz in Buch
Fraunhofer ISIT ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-24163.html