Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Mikrostrukturen - Prozeßwissen erlaubt höchste Präzision

Microstructures
 
: Gemmler, A.; Keller, W.; Richter, H.; Rueß, K.

Metalloberfläche : mo 47 (1993), Nr.9, S.461-468
ISSN: 0026-0797
ISSN: 0043-2792
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IPA ()
Anschlußkontakt; Fertigungsprozeß; Galvanotechnik; Genauigkeit; Goldbump; Goldmikrokontakt; Goldüberzug; Mikroelektronik; Prozeßmodell; Synergie

Abstract
Die rasante Entwicklung der Mikroelektronik stellt an die Fertigungsprozesse immer höhere Anforderungen, so auch an die galvanischen Schritte bei der Herstellung von Goldmikrokontakten, den Goldbumps. Die für eine zuverlässige Anschlußkontaktierung notwendige Präzision wird durch die Erarbeitung und Anwendung eines synergistischen Prozeßmodells erreicht.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-24155.html