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1993
Journal Article
Titel
Mikrostrukturen - Prozeßwissen erlaubt höchste Präzision
Alternative
Microstructures
Abstract
Die rasante Entwicklung der Mikroelektronik stellt an die Fertigungsprozesse immer höhere Anforderungen, so auch an die galvanischen Schritte bei der Herstellung von Goldmikrokontakten, den Goldbumps. Die für eine zuverlässige Anschlußkontaktierung notwendige Präzision wird durch die Erarbeitung und Anwendung eines synergistischen Prozeßmodells erreicht.