Fraunhofer-Gesellschaft

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Mikroskopische Techniken zur Materialanalys

 

Halser, K.; Kämpfe, B. ; MESAGO Messe Frankfurt GmbH, Stuttgart:
Analytik und Prozeßkontrolle
Stuttgart: MESAGO, 1998
14 S.
Tagung Analytik und Prozeßkontrolle <1998, Nürnberg>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IZFP ()
Materialcharakterisierung; Materialprüfung; materials characterization; Mikroelektronik; Mikrosystemtechnik

Abstract
Die Mikroelektronik und die Mikrosystemtechnik stellen qualitativ neue Forderungen an die zerstörungsfreie Prüfung. Zum einen ergeben sich diese aus der Größe der zu prüfenden Teile, zum anderen aus der großen Zahl der zu prüfenden Komponenten. Der Schwerpunkt der Anwendung der zerstörungsfreien Prüfung wird daher in dem Bereich der Werkstoff- und Technologieentwicklung liegen. Durch Steigerung des Auflösungsvermögens und Miniaturisierung der Sensorik können Auflösungen im Mikrometer-Bereich, wie von der Mikrosystemtechnik gefordert, erreicht werden. Da sich die magnetischen, elektrischen, elastischen und thermischen Eigenschaften der Werkstoffe in miniaturisierten Strukturen von denen des Grundmaterials deutlich unterscheiden könne, ist die ortsaufgelöste Messung dieser Eigenschaften von hoher praktischer Bedeutung. Beispiele hierfür sind die Anwendung der Akustomikroskopie zur Messung elastischer Eigenschaften der photothermischen Mikroskopie zur Messung thermischer Eigenschaften sow ie der Barkhausenmikroskopie zur Messung magnetischer Eigenschaften und mechanischer Spannungen.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-24148.html