Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Mikrofabrikationstechniken für modulare Mikrosysteme

 
: Großer, V.; Reichl, H.; Hillmann, V.

Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration -IZM-, Berlin:
Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration. Jahresbericht 1995
Berlin, 1996
S.47-49
Deutsch
Aufsatz in Buch
Fraunhofer IZM ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-24093.html