Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Mikrofabrikationstechniken für Mikrosysteme - MyFab

 
: Reichl, H.; Grosser, V.

Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration -IZM-, Berlin:
Fraunhofer-Einrichtung für Zuverlässigkeit und Mikrointegration. Jahresbericht 1994
Berlin, 1995
S.64-65
Deutsch
Aufsatz in Buch
Fraunhofer IZM ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-24092.html