Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Mikrofab - Mikrofabrikationstechniken für Mikrosysteme

 
: Schünemann, M.; Grimme, R.; Schwaab, G.; Schäfer, W.

Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart:
Produktionstechnik für Mikrosysteme : IPA-Seminar, 5. und 6. November 1996, Stuttgart
Stuttgart: Fraunhofer IPA, 1996
S.1-4
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (Seminar) <1996, Stuttgart>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IPA ()
Fertigung; MikroFab; Mikrofabrikationstechnik; Mikrosystem

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-24088.html