Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Mikroelektronik-kompatible Sensoren fuer den Maschinenbau

 
: Hesse, J.; Juckenack, D.

IEE 29 (1984), Nr.11, S.26-32 : Abb.
ISSN: 1434-2898
ISSN: 0340-8086
ISSN: 0722-6179
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IPM ()
Anwendung; Maschinenbau; Mikroelektronik; sensor

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-24077.html