Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Meßtechnik in der Sauber- und Reinstfertigung

 
: Ernst, C.; Matuscheck, P.; Naffin, F.

GIT. Labor-Fachzeitschrift 43 (1999), Nr.3, S.278-283
ISSN: 0016-3538
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IPA ()
Fertigung; Kontaminationskontrolle; Messen; Prozeßoptimierung; Reinheitszustand; Reinraum; Reinstproduktion; Sauberfertigung

Abstract
Der vorliegende Beitrag behandelt ausgewählte meßtechnische Anwendungen, wie sie zur Darstellung und Sicherung des Reinheitszustandes von Produkten und deren Produktionsumfeld, aber auch zur Qualitäts- und Prozeßoptimierung in Frage kommen. Die zu kontrollierenden Parameter sind produktspezifisch.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-23591.html