Fraunhofer-Gesellschaft

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Meßgeräte und Vorgehensweisen bei Abnahmemessungen in Reinräumen

 
: Kahlden, T. von

Concept, Heidelberg:
Neue Entwicklungen der Partikelmeßtechnik für Reinstprozesse. Symposion
Heidelberg: Concept, 1993 (Pharma-Technologie-Journal 14.1993,2)
S.4-9
Symposion "Reinraumtechnik im Pharmabetrieb" <1992, Bad Nauheim>
Symposion "Neue Entwicklungen der Partikelmeßtechnik für Reinstprozesse" <1992, Frankfurt/Main>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IPA ()
Abnahmemessung; Meßgerät; Mikroelektronik; Mikromechanik; Reinraum

Abstract
Die Entwicklung der Mikromechanik und Mikroelektronik sowie die Neuerungen auf dem Gebiet der Gen- und Bioverfahrenstechnik erfordern die Ausweitung des Einsatzes von Reinräumen. Diese werden unabhängig von ihrem Einsatzgebiet flächenmäßig in verschiedensten Größen erstellt. Das Spektrum reicht von der sogenannten LF-Box bis zum Großreinraum mit einigen tausend Quadratmetern. Allen Reinraumanlagen ist gemein, daß nach der Inbetriebnahme zum Nachweis der spezifizierten Qualität Abnahmemessungen durchgeführt werden müssen. Im vorliegenden Beitrag wird auf die Vorgehensweise der Abnahmemessungen eingegangen. Die Art der durchzuführenden Abnahmemessungen orientiert sich an der neu überarbeiteten VDI-Richtlinie 2083.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-23470.html