Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Mehrdimensionale Simulation halbleitertechnologischer Fertigungsschritte

 
: Lorenz, J.; Bär, E.; Burenkov, A.; Tietzel, K.

Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen, Bereich Bauelementetechnologie -IIS-B-, Erlangen:
Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen, Bereich Bauelementetechnologie. Leistungen und Ergebnisse. Jahresbericht 1995
Erlangen, 1996
S.25-28
Deutsch
Aufsatz in Buch
Fraunhofer IIS B ( IISB) ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-23293.html