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1998
Conference Paper
Titel
Measuring Techniques in Cleanrooms
Alternative
Meßtechniken im Reinraum
Abstract
Zur Partikelmessung in Reinräumen und Reinstmedien werden u.a. optische Partikelzähler eingesetzt. Die Präzision der Messung ist abhängig von der Probenahmetechnik und der Kalibrierung. Die verfügbaren optischen Partikelzähler sowie weitere relevante Meßtechniken unterscheiden sich in ihren technischen Merkmalen, Anwendungsmöglichkeiten und Probenahmetechniken.
Language
English
Tags
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calibration
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counting efficiency
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Kalibrieren
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Latex Sphere
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Latexpartikel
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Oberfläche
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Optical Particle Counter
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particle measurement
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particle measurement on Surfaces
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Partikelmessung
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Partikelzähler
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Probenahme
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Rasterelektronenmikroskopie
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Reinstflüssigkeit
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Reinstgas
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sampling
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scanning electron microscopy
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scattering light
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Streulicht
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Teilchen
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ultrapure gas
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Ultrapure Liquid
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Zählwirkungsgrad