Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Measuring Techniques in Cleanrooms

Meßtechniken im Reinraum
 
: Schließer, J.

Schall Kongreß GmbH:
CleanRooms Europe 1998. Proceedings
PennWell, 1998
International Conference on Advanced Technologies and Practices for Contamination Control <1998, Frankfurt/Main>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IPA ()
calibration; counting efficiency; Kalibrieren; Latex Sphere; Latexpartikel; Oberfläche; Optical Particle Counter; particle measurement; particle measurement on Surfaces; Partikelmessung; Partikelzähler; Probenahme; Rasterelektronenmikroskopie; Reinstflüssigkeit; Reinstgas; sampling; scanning electron microscopy; scattering light; Streulicht; Teilchen; ultrapure gas; Ultrapure Liquid; Zählwirkungsgrad

Abstract
Zur Partikelmessung in Reinräumen und Reinstmedien werden u.a. optische Partikelzähler eingesetzt. Die Präzision der Messung ist abhängig von der Probenahmetechnik und der Kalibrierung. Die verfügbaren optischen Partikelzähler sowie weitere relevante Meßtechniken unterscheiden sich in ihren technischen Merkmalen, Anwendungsmöglichkeiten und Probenahmetechniken.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-23133.html