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Materialien für Reinraumanwendungen. Einfache Methoden zur Qualifizierung von Kontaminationen auf technischen Oberflächen

 
: Kölblin, R.

Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart:
Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '94
Stuttgart, 1994
Fertigungstechnik im Reinraum - Meßtechnisches Praktikum <1994, Stuttgart>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IPA ()
Fertigungsumgebung; Kontamination; Materialbeanspruchung; Materialforschung; Materialverschleiß; Oberfläche; Qualifizierung; Reinraum; Reinraumanwendung; Teilchen

Abstract
Die Betrachtung der "Materialien in der Reinraumtechnik" und deren Eigenschaften konzentrierte sich auf den Bereich der Fertigungsumgebung, mit den Schwerpunkten Reinraum und Fertigungsumgebung. Die Medien und Verbrauchsgüter der Fertigungsumgebung wurden ausschließlich erwähnt und kurz beschrieben. Die Materialeigenschaften beschreiben das Verhalten des Materials bei unterschiedlichster Beanspruchung. Die Beanspruchungsart kann mechanisch, chemisch, energetisch und elektrisch sein. Die häufigste Beanspruchungsart ist die mechanische Beanspruchung, durch z.B. elastische Verformung, Vibration, mechanischer Kontakt mit Relativbewegung. Bei dieser Beanspruchung generiert je nach Materialeigenschaft die Oberfläche Partikel. Die Materialien sollten die nachfolgend aufgelisteten Eigenschaften, je nach Einsatzbereich, mehr oder weniger erfüllen: Oberflächen dürfen Partikel nicht sammeln, nicht erzeugen, nicht emittieren. Anforderung an Oberflächen: partikelfrei, glatt, abriebfest, partikelabw eisend, korrosionsbeständig/inert, alterungs-/strahlungsbeständig, ausgasungsinertes Verhalten (z.B. Ausdiffundieren von Weichmachern), temperatur-, feuchte-, feuer-, chemikalienbeständig, stoss-, schlag-, bruchfest, schwingungsfrei, gasdicht, alterungsbeständig, schwundfrei, keine statische Aufladung, porenfrei, d.h. keine Oberflächenfehlern, elektrisch leitfähig, umweltfreundlich, leicht reinigbar, strömungsgünstig, leicht bearbeitbar. Die in Kapitel 4 generierte Materialcheckliste, ermöglicht dem Benutzer eine Auswahl, bzw. eine Überprüfung von eingesetzten Materialien. Sie ist als offene Datenbank zu verstehen und kann somit von jedem Benutzer anwenderorientiert eingesetzt und erweitert werden.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-22962.html