Fraunhofer-Gesellschaft

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Materialfluß bei Clustertools

Material flow by clustertools
 
: Bader, U.

Verband Deutscher Elektrotechniker e.V. -VDE-, Frankfurt/Main:
Bereitstellung von Clustertools für die IC-Fertigung. GME-Diskussionsveranstaltung. Status, Schwierigkeiten und Perspektiven
Frankfurt/Main, 1993
S.164-193
VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik -GME- (Diskussionsveranstaltung) <1993, Stuttgart>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IPA ()
cleanroom; cluster tool; economy; Handhaben; handling; integrated circuit; integrierte Schaltung; material flow; Materialfluss; Reinraum; simulation; SMIF; Wirtschaftlichkeit

Abstract
Entscheidend für die Wirtschaftlichkeit einer Clustertool-Anlage ist die Gestaltung des Materialflusses. Die meisten Clustertool-Anlagen sind mit mehreren Handhabungsgeräten ausgerüstet, die wiederum jeweils mehrere Stationen bedienen müssen. Aus diesem Grund ist es notwendig, die Parameter, Handhabungsanordnung, Prozeßzeit und Materialflußstrategie aufeinander abzustimmen, um den erzielbaren Durchsatz an Substraten zu optimieren. Dafür werden unterschiedliche Lösungsmöglichkeiten aufgezeigt und eine Kriterienliste vorgestellt, mit deren Hilfe eine optimale Handhabungsanordnung ausgewählt werden kann. Da der Durchsatz an Substraten bei den meisten Clustertool-Anlagen nicht mehr von der Hand analytisch berechnet werden kann, ist es zweckmäßig, für die Gestaltung des Materialflusses Simulationssysteme einzusetzen. Die geplante Anlage wird dazu in Form eines realitätsgetreuen Simulationsmodelles im Rechner nachgebildet. Dann werden das Layout der Anlage und die einzelnen materialflußbesti mmenden Parameter sukzessive in vielen Simulationsuntersuchungen aufeinander abgestimmt, optimiert und anschließend am Bildschirm graphisch dargestellt. Am Beispiel einer bereits realisierten Clustertoolanlage wird die Auswahl einer geeigneten Handhabungsanordnung und die Gestaltung des Materialflusses vorgestellt. Die erzielbaren Durchsätze werden für zwei unterschiedliche Materialflußkonzepte mit einem Simulationssystem ermittelt und einander gegenübergestellt.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-22925.html