Fraunhofer-Gesellschaft

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Materialbearbeitung mit Excimer-Laser

 
: Schulze, W.; Wehner, M.; Poprawe, R.

Opto Elektronik Magazin 6 (1990), Nr.1, S.70
ISSN: 0930-9713
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer ILT ()
Excimer-Laser; Laserintensität; Mikrobearbeitung; Modenblenden; Oberflächenbearbeitung; Plasmaabsorption; Prozeßkontrolle; Verdampfung; Wärmefront; Wärmeleitung

Abstract
Erste grundlegende Ideen zum Bau von Excimer-Lasern entstanden im Jahr 1960 von F.G. Houtermans. Zehn Jahre später gelang N.G. Basov die erste Realisierung. Ende der siebziger Jahre erschienen dann die ersten kommerziell hergestellten Excimer-Laser auf dem Markt. Sie wurden im wesentlichen in Hochschullaboratorien zu Forschungszwecken wie meßtechnischen Aufgaben oder zum Pumpen von Farbstofflasern eingesetzt. In den letzen Jahren hat sich aufgrund der zunehmenden Anwendungsmöglichkeiten des Einsatzspektrum von Excimer-Lasern erweitert. Erste kommerzielle Anwendungen, in denen mehrere Excimer-Laser für ein Verfahren installiert sind, wurden realisiert. Aus dem breiten Spektrum der Anwendungsmöglichkeiten von Laserstrahlung für die Materialbearbeitung sind die Anwendungsgebiete des Excimer-Lasers durch zwei wesentliche Charakteristika gekennzeichnet: - die Wellenlänge von Excimer-Lasern liegt im ultravioletten Strahlungsbereich, so daß die Photonenergie in der Größenordung der Bindungsen ergie der zu bearbeitenden Materie liegt. So sind auch nicht-thermische photoinduzierte Prozesse möglich. Durch die kurze Pulsdauer von Excimer-Lasern im Bereich einiger 10 ns sind Bearbeitungsverfahren mit extrem kleiner Wärmeeinflußzone möglich. Bei Metallen liegen typische Aufschmelztiefen bei Einzelpulsbearbeitung im Bereich von einem mym.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-22914.html