Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Maskierverfahren zur Herstellung periodischer Strukturen in einem Substrat mittels Ionenimplantation

Masking process for the production of periodic structures in a substrate by means of ion implantation
 
: Goetzberger, A.

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DE 1974-2454714 A: 19741119
DE 1974-2454714 A: 19741119
DE 2454714 C3: 19790419
H01L0021
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer ISE ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-22859.html