Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Der MAD-Prozeß - ein plasmaaktiviertes Hochrate-Vakuumbeschichtungsverfahren

 
: Reschke, J.; Goedicke, K.; Schiller, S.

Schiller, S. ; Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik -FEP-, Dresden:
Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik. Jahresbericht 1995
Dresden, 1996
S.25-31
Deutsch
Aufsatz in Buch
Fraunhofer FEP ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-22593.html