Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Low pressure silicon epitaxy.

Niederdruck-Siliziumepitaxie
 
: Krullmann, E.; Engl, W.L.

IEEE transactions on electron devices ED-29 (1982), Nr.4, S.491-497 : Abb.,Lit.
ISSN: 0018-9383
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert
Epitaxie; Niederdrucksystem

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-22486.html