Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Lokale Reinigungsverfahren

Potentiale für die industrielle Fertigung von Mikrosystemen
 
: Grimme, R.; Rochowicz, M.; Werner, D.; Schäfer, W.

Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart:
Produktionstechnik für Mikrosysteme 1998 : Fraunhofer IPA-Kongreß, 5. und 6. November 1998, Stuttgart
Stuttgart, 1998
Kongreß Produktionstechnik für Mikrosysteme <1998, Stuttgart>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IPA ()
Fertigung; Mikrosystem; Reinigung

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-22364.html