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1990
Journal Article
Titel
Leistungsschalter für 500 V mit dielektrisch isolierter CMOS-Signalelektronik
Abstract
In der netzgespeisten Leistungselektronik sind für die Antriebs- und Energieversorgungstechnik intelligente Leistungsschalter gefragt. Die am IMS entwickelte Smart-Power-Schaltung umfaßt auf einem Chip einen vertikalen DMOS-Leistungstransistor sowie die erforderliche Ansteuer- und Überwachungselektronik in CMOS-Technologie. Die Isolation zwischen dieser Signalelektronik und dem HV-Leistungsteil wird mit einer vergrabenen SiO2-Schicht erreicht.