Fraunhofer-Gesellschaft

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Laserinduzierte Temperaturverteilung in dünnen Silizium-Membranen

 
: Putzar, R.; Wilke, I.

Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft (1988), S.Q-8.6
ISSN: 0420-0195
ISSN: 0372-5448
Deutsch
Abstract
Fraunhofer ISIT ()
Prozeß(laserinduziert); Siliziummembran; Temperaturverteilung; Wärmeleitung

Abstract
Mittels laserpyrolytischer Abscheidung von Metallen lassen sich fehlende Absorberstrukturen nachtraeglich auf Roentgenmasken auftragen. Die hierbei durch Absorption fokussierter Laserstrahlung (Ar+, 514 nm) in der Maskenmembran (Silizium) erzeugte Temperaturverteilung T(r) wurde berechnet. Zu diesem Zweck wurde eine inhomogene, 1-dimensionale radiale Waermeleitungsdifferentialgleichung analytisch geloest. Die Ueberpruefung der berechneten T(r) kann durch geeignete, auf die Membran aufgetragenen Temperaturindikatoren erfolgen. Ein weiterer, indirekter Temperaturnachweis ist die pyrolytische Abscheidung von W aus W(CO)6. In beiden Faellen koennen Abweichungen durch ein bei hoeheren Temperaturen beobachtetes Durchbiegen der Membran und einer dadurch bedingten Fokusaenderung erklaert werden. Desweiteren kann der Beginn der Abscheidung von W aus W(CO)6 erst bei Temperaturen erfolgen, die oberhalb der Zersetzungstemperatur der Substanz liegen. (IMT)

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-21653.html