Fraunhofer-Gesellschaft

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Lasergestützte Bogenbeschichtung -Laser-Arc-

Laser-assisted arc coating -laser-arc-
 
: Siemroth, P.; Scheibe, H.J.

Jahrbuch Oberflächentechnik. Bd.48
Berlin: Metall-Verlag, 1992
ISBN: 3-7785-2131-4
S.339-359
Deutsch
Aufsatz in Buch
Fraunhofer IWS ()
diamantähnliche Kohlenstoffschicht; DLC-film; Laser-Arc; laser-induced film deposition; laser-induced vacuum arc; laserinduzierte Schichtabscheidung; laserinduziertes Vakuum; LPVD; PVD-Technik; PVD-technique; vacuum arc evaporation; Vakuumbogenverdampfung

Abstract
Der Beitrag stellt die Methode der lasergestützten Bogenverdampfung (LASER-ARC) vor, eines neuen physikalischen Beschichtungsverfahrens. Das LASER-ARC-Verfahren ist geeignet, ein breites Spektrum von Spezialschichten, wie unter anderem Multischichtsysteme mit frei wählbaren Einzelschichtdicken und diamantähnliche Schichten mit hoher Effektivität und geringem Aufwand herzustellen. Der besondere Vorteil des hier beschriebenen Verfahrens liegt in der leichten Steuerbarkeit der Entladung, so daß auch kompliziertere Schichtsyteme präzise, reproduzierbar und mit hoher Rate hergestellt werden können.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-21645.html