Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Kostengünstiges Konzept im IMS-Reinraum. Untersuchung der Reinraumqualität

 
: Bussing, H.; Kück, H.

Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme -IMS-, Duisburg:
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme. Tätigkeitsbericht 1989
Duisburg: IMS, 1990
ISSN: 0932-5824
S.21-22
Deutsch
Aufsatz in Buch
Fraunhofer IMS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-21073.html